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日本小島KOFLOC質量流量控制器

產品特色：
通過采用改良(liang)型恒定電流(liu)溫度差(cha)檢測方(fang)式流(liu)量傳(chuan)感器，實現快速(su)回應。
通用(yong)的常閉型閥門(men)確(que)保了(le)安全(quan)
使用電磁執行器保(bao)證了高效的(de)可靠性
低差壓類(lei)型控(kong)制適用于燃燒(shao)的氣體(ti)（LP可選）
另有針(zhen)對(dui)PM2.5設備特制品：流量16.7L/MIN，低壓(ya)差15Kpa既(ji)可，*，高性價(jia)比(bi)

技術參(can)數：
流量FS(N2換算)：10SCCM-20SLPM(3660系(xi)列)
         ;                   30SLPM-100SLPM(3665系列(lie))
氣體種(zhong)類：所(suo)有氣體(腐蝕性、有毒、特殊(shu)氣體都(dou)可)
傳感器類型：熱式傳感器
閥門(men)類型：電磁(ci)比例閥，常閉
控(kong)制范(fan)圍：2%-(3660系列)
                 5%-(3665系(xi)列)
控制速度：2%-,2秒(miao)以內
控制(zhi)精(jing)度(du)：±1.0%FS(3660系列)
                 ±1.5%FS(3665系(xi)列(lie))
重復(fu)性：±0.5%FS
工作(zuo)差(cha)壓：滿量程(cheng)FS≤5升/分鐘，49-294Kpa
                 5升(sheng)/分(fen)鐘≤滿(man)量程FS≤100升(sheng)/分(fen)鐘，98-294Kpa
低差壓特制：2-149Kpa，根據具體(ti)流量來定制
高差壓特制：294-784Kpa，根據(ju)具體流量(liang)來定(ding)制
使用溫度：0-50℃
允許濕度：0-90%
泄漏(lou)率：≤1x10-8Pa.m3 /sec（不包含(han)He）
產品材質：主體(ti)-SUS316
                 密封圈：Viton
                 可另選：氯(lv)丁(ding)橡膠，橡膠NBR
管路接頭：1/4英(ying)寸卡套(3660系列)
                 3/8英寸卡套(3665系列)
                 可另選：1/8英寸卡套(tao)、1/4英寸VCR、RC1/4英寸、特殊(shu)要求可定制
電氣(qi)接頭：D型(xing)9針(zhen)
輸入信號(hao)：0-5V(模(mo)擬(ni)信號(hao))
輸(shu)出信號(hao)：0-5V(模擬信號(hao))
供應電(dian)源：+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)200mA
產品重量：800g(3660系(xi)(xi)列)、1000G(3665系(xi)(xi)列.

電氣(qi)D型(xing)9針連線(xian)示意圖(tu)：
1號(hao)針：閥門開關信號(hao)(可不(bu)接)
2號針：輸(shu)出信號0-5V
3號(hao)針：電源+15VDC
4號針：電(dian)源COM
5號針：電源-15VDC(
6號針：輸入信號0-5V
7號針：輸出信號COM
8號(hao)針：輸入信號(hao)COM
9號針：閥(fa)門電壓輸出

日本小島KOFLOC質量流量控制器